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                    电子半导体行业废气处理设备

                    发布时间:2022-3-29 10:38:55 浏览次数:

                    处理工艺:氮氧化物浓度较高的采用四级串联高浓度酸雾净化塔,添加氢氧化钠、硫化钠进行洗涤处理;氮氧化物浓度较低的采用两级串联酸雾净化塔,添加氢氧化钠进行洗涤处理。


                    主要特点:净化效率高,结构紧凑,耐腐蚀,耐老化性能好,自动化控制,操作简单,广泛应用于太阳能、电子半导体等行业。


                    PECVD设备尾气主要包含硅烷SiH及氨气NH等。


                    处理工艺:不锈钢燃烧筒一不锈钢硅烷燃烧洗涤塔氨气洗涤塔+离心风机


                    主要特点:硅烷去除率高, 氨气及其他水溶性气体净化率高,占地面积小,耐腐蚀,便于维修。



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