menu
                    电子半导体产线工艺废气治理
                    工艺介绍
                    Scheme  introduction

                    1、PECVD工艺废气

                    PECVD设备尾气主要包含硅烷SiH4及氨气NH3等。

                    处理工艺:不锈钢燃烧筒→不锈钢硅烷燃烧洗涤塔-氨气洗涤塔+离心风机

                    主要特点:硅烷去除率高,氨气及其他水溶性气体净化率高,占地面积小,耐腐蚀,便于维修。

                    2.丝网印刷工艺废气

                    丝网印刷废气工艺主要涉及的主要设备印刷机和烧结炉,产生的废气主要是一些以脂类和醇类废气为主的有机废气及热废气。

                    处理工艺:采用活性炭纤维吸附塔。

                    主要特点:设备占地面积小,耐腐蚀,便于维修,无二次污染,净化效率较活性炭颗粒较高。

                    设备主要特点:洗涤塔采用酸/碱洗涤、水洗一体塔+活性炭吸附进行废气净化处理,自动化控制,达标排放,占地面积少、控制操作简单方便,处理效果佳、维护成本低。

                    干化等工艺产生的臭气采用酸碱洗涤吸收、生物除臭、光催化氧化、活性炭吸附等工艺处理,达标排放。




                    工程案例
                    applicationcase



                    LED产线工艺废气治理-山西华光电子股份有限公司.jpg

                    山西华光电子股份有限公司

                    电子半导体行业-江苏南大光电.jpg

                    江苏南大光电

                    电子半导体行业-苏州能讯.jpg

                    苏州能讯

                    电子半导体集成电路-江苏晶旺新能源.jpg

                    江苏晶旺新能源

                    电子半导体集成电路-徐州协鑫.jpg

                    徐州协鑫

                    刻蚀工艺废气-昆山平板显示中心.jpg

                    昆山平板显示中心

                    刻蚀工艺废气-天津中国航空.jpg

                    天津中国航空

                    离子注入工艺尾气-中电熊猫.jpg

                    中电熊猫

                    久久精品国产亚洲av日韩,色天使综合婷婷国产日韩av,chinesexxxx乱子另类,又色又爽又黄1000部免费视频